11月3日，2020年度國家科學(xué)技術(shù)獎勵大會(huì )在人民大會(huì )堂隆重召開(kāi)。鄭州大學(xué)主持完成的“平板顯示用高性能ITO靶材制備關(guān)鍵技術(shù)及工程化”項目榮獲國家技術(shù)發(fā)明獎二等獎，鄭州大學(xué)材料科學(xué)與工程學(xué)院院長(cháng)、河南省資源與材料工業(yè)技術(shù)研究院院長(cháng)何季麟院士為項目主持人，材料科學(xué)與工程學(xué)院孫本雙教授和舒永春教授等為主要完成人。

“這是對團隊近二十年來(lái)甘坐冷板凳、潛心磨一劍的認可，是榮譽(yù)更是鼓勵，我們將繼續在關(guān)鍵金屬與先進(jìn)靶材料領(lǐng)域勇攀高峰，實(shí)現更多從‘0’到‘1’的突破。”何季麟說(shuō)。

2018年，《科技日報》公布了制約我國工業(yè)發(fā)展的35項“卡脖子”技術(shù)，其中ITO靶材料赫然在列。

ITO靶材，又稱(chēng)氧化銦錫材料。日常生活中手機屏幕、電腦顯示器、平板電腦等各種顯示屏都離不開(kāi)它。顯示屏的玻璃基材原本不透明不導電，需要在表面涂上一層膜使之導電又透明，這個(gè)膜就是ITO膜。制備時(shí)需要先把它做成一塊靶材，再用磁控濺射離子束對著(zhù)靶材進(jìn)行高速轟擊，將其氣化濺鍍到玻璃基板上，就形成了這層膜。它不僅用于有機發(fā)光顯示和觸控面板，還用于太陽(yáng)能電池和抗靜電鍍膜、EMI屏蔽的透明傳導鍍膜等，在全球擁有廣泛的市場(chǎng)。

中國是銦資源大國，原材料卻大量出口到日韓，而后再高價(jià)購買(mǎi)他們的靶材產(chǎn)品。2018年國內還沒(méi)有一家企業(yè)能做超過(guò)32英寸的靶材，燒不出大號靶材，中國平板顯示制造就陷入困境，仰人鼻息，這也讓何季麟很心痛。

技術(shù)保密、裝備不賣(mài)、無(wú)材料可查，外國對我國進(jìn)行技術(shù)全方位封鎖。為了解決這項“卡脖子”技術(shù)，90年代中期，在何季麟的帶領(lǐng)下中國率先開(kāi)發(fā)氧化物靶材。“剛開(kāi)始做靶材料研究時(shí)，別人提指標要求，我們來(lái)實(shí)現。看著(zhù)實(shí)驗室的各項數據比較滿(mǎn)意，我們拿著(zhù)樣品去鍍膜檢測，卻發(fā)現相差甚遠。”舒永春說(shuō)。用時(shí)間軸來(lái)呈現這個(gè)項目漫長(cháng)的研發(fā)歷程就是：1996-2005年從無(wú)到有，2005-2015年自主研發(fā)，2015年至今并跑、超越。

自2015年來(lái)到鄭大，何季麟深耕于兩個(gè)領(lǐng)域并取得重大突破，一是半導體集成電路用的金屬與合金板材料，二是平板顯示方向上所用的氧化物材料，潛心研發(fā)這兩大材料并實(shí)施產(chǎn)業(yè)化。“這是黨和國家關(guān)注的、需要重點(diǎn)突破的‘卡脖子’關(guān)鍵技術(shù)。”何季麟說(shuō)。他組建了自己的研究團隊，從原先的僅有7人，到現在已有40多名科研人員。

2018年，在何季麟的帶領(lǐng)下，以鄭州大學(xué)、寧夏冶煉廠(chǎng)、福建阿石創(chuàng )聯(lián)合團隊為代表的中國科研力量，實(shí)現了大尺寸ITO靶材制備關(guān)鍵技術(shù)突破，產(chǎn)品迅速進(jìn)入中國京東方世界最大平板顯示生產(chǎn)龍頭企業(yè)。“我們自己合成原料、自主研發(fā)，形成了一條與日韓不同的工藝路線(xiàn)，申請了知識產(chǎn)權和國外專(zhuān)利，建立中試車(chē)間、靶材中試產(chǎn)業(yè)，性能已經(jīng)超過(guò)了日韓的產(chǎn)品。”先進(jìn)靶材料研究中心支部書(shū)記宋建勛說(shuō)。

今天，這項成果終于使中國ITO靶材制備實(shí)現了從無(wú)到有、自主研發(fā)到并跑超越的突破，中國ITO靶材產(chǎn)業(yè)化技術(shù)自主創(chuàng )新體系初步形成，已經(jīng)建成了年產(chǎn)66噸生產(chǎn)線(xiàn)，產(chǎn)品率先批量應用于京東方高世代TFT生產(chǎn)線(xiàn)。近三年新增銷(xiāo)售額1.05億元，利潤953萬(wàn)元，新增應用效益47.4億元，利潤5.1億元。中國8.5G以上靶材市場(chǎng)占有率5%，實(shí)現高端應用由“0”到“1”的突破，打破國外技術(shù)封鎖，迫使日本ITO靶材降價(jià)80%，為靶材料中國制造到中國創(chuàng )造作出了示范引領(lǐng)性貢獻。

“此次獲得國家科技進(jìn)步二等獎，是何季麟院士團隊多年來(lái)持之以恒、團結協(xié)作、集中攻堅的結果。”材料科學(xué)與工程學(xué)院黨委書(shū)記王瑞波說(shuō)。

何季麟1945年9月出生于河南開(kāi)封，大學(xué)畢業(yè)后分配到寧夏工作，長(cháng)期從事有色、稀有金屬冶煉與加工理論和工程化技術(shù)的研究開(kāi)發(fā)，開(kāi)創(chuàng )了具有自主知識產(chǎn)權的鉭鈮金屬冶煉、加工工藝、技術(shù)與方法并實(shí)現了工程化應用。

2015年，何季麟以學(xué)科首席特聘教授的身份來(lái)到鄭州大學(xué)，擔任新成立的河南省資源與材料工業(yè)技術(shù)研究院院長(cháng)。他深入了解學(xué)校材料學(xué)科的現狀，結合河南省的優(yōu)勢產(chǎn)業(yè)進(jìn)行學(xué)科布局，圍繞“服務(wù)國家戰略需求、服務(wù)河南有色金屬產(chǎn)業(yè)”，布局了金屬與合金靶材、氧化物靶材、高純金屬制備、鋁綠色冶煉、鎂綠色冶煉等8個(gè)新的研究方向，組建了“先進(jìn)靶材研究中心”，著(zhù)力打造國內領(lǐng)先、國際先進(jìn)的研發(fā)團隊。

“何院士給我們確立了一個(gè)靶材夢(mèng)，即做出一兩種靶材，解決一兩項‘卡脖子’問(wèn)題，將靶材推廣應用到國家經(jīng)濟主戰場(chǎng)，在先進(jìn)靶材研究領(lǐng)域占有一席之地。為了攻破一些科技難題，他時(shí)常帶領(lǐng)團隊在中心工作到深夜，凌晨1點(diǎn)回家是很常見(jiàn)的事情。我們青年老師都熬不住了，但76歲的他仍堅守一線(xiàn)。”材料科學(xué)與工程學(xué)院副院長(cháng)王海龍感慨。

“何院士凡事以身作則、躬身力行，什么事情都沖到第一線(xiàn)，這么大年紀，很多事情他親自帶著(zhù)大家做。他還給我們青年老師強調很多實(shí)驗一定要親自去做，不能只讓學(xué)生做，否則不知道問(wèn)題出在哪。” 宋建勛說(shuō)。

在科學(xué)研究中，何季麟強調學(xué)以致用、服務(wù)社會(huì )。團隊副研究員劉洋表示，何院士時(shí)常教導我們，所做的研究不能停留寫(xiě)文章發(fā)論文，要準確把握國家戰略科技力量建設的重點(diǎn)任務(wù)，做有用的科研，更好支撐國家科技自立自強。

2021年，何季麟獲評“全國優(yōu)秀共產(chǎn)黨員”。他在給師生做報告時(shí)語(yǔ)重心長(cháng)地叮囑大家：“創(chuàng )新發(fā)展、高質(zhì)量發(fā)展時(shí)不我待，要振奮精神、團結奮斗，抓牢接力棒，勇敢肩負起歷史賦予我們的使命責任，努力把鄭州大學(xué)建設成世界一流大學(xué)，努力為黨和為人民作出更大的貢獻！”

目前，先進(jìn)靶材料研究中心瞄準國家亟需，開(kāi)展多品種靶材研究，研究涉及金屬靶、合金靶、氧化物靶、陶瓷靶等20多個(gè)品種，重點(diǎn)攻關(guān)半導體芯片銅靶、鈦靶、氧化鎂靶、薄膜太陽(yáng)能lMO等“卡脖子”的靶材制備技術(shù)，深耕靶材料基礎研究的同時(shí)，也希望為河南產(chǎn)業(yè)發(fā)展、為國家建設貢獻更多力量。“我一輩子與科學(xué)技術(shù)結緣，幾十年與冶金專(zhuān)業(yè)、材料制備技術(shù)相伴，只要我還能做得動(dòng),就會(huì )繼續發(fā)揮余熱,做更多的科研工作，為科技強國貢獻一己之力。”年逾古稀，何季麟依然壯心不已。（李艷麗 撰稿 張寧 攝影）

“平板顯示用高性能ITO靶材制備關(guān)鍵技術(shù)及工程化”項目榮獲2020年度國家技術(shù)發(fā)明獎二等獎

何季麟院士及其團隊進(jìn)行研討

ITO成品靶材